三年如白駒過隙，1100多個日日夜夜里，一支平均年齡不到35歲的中國科研團隊，走完了發(fā)達國家15年才走完的路

三年如白駒過隙，1100多個日日夜夜里，一支平均年齡不到35歲的中國科研團隊，走完了發(fā)達國家15年才走完的路，使得國內(nèi)主流的集成電路生產(chǎn)線上首次出現(xiàn)了國產(chǎn)核心制造裝備。9月28日，芯片制造六大裝備中的刻蝕機和離子注入機的采購合同在北京簽訂，這標(biāo)志著國產(chǎn)100納米制造裝備初步實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。這項重大的技術(shù)突破背后，既有科研人員的嘔心瀝血、苦辣酸甜，也有科研體制前所未有的改革創(chuàng)新。

1、 三年建起研發(fā)基地

2003年12月，100納米離子注入機研發(fā)課題組從長沙調(diào)入北京，開始項目攻關(guān)。“我們剛來的時候，通州這片基地還是一片農(nóng)田。6個月后，我們建起了1.4萬平方米的廠房。”100納米離子注入機項目負責(zé)人唐景庭說。三年后，原來的不毛之地建起了107畝的生產(chǎn)研發(fā)制造基地。

100納米離子注入機項目是國家“863”重大專項，跨越技術(shù)水平近五代，國內(nèi)沒有可參考的任何資料和機型，設(shè)備的復(fù)雜程度和技術(shù)難度前所未有。科研人員們夜以繼日地工作，沒有休息日，每周工作78.5小時，形成了215萬字的研究報告。近三年的艱苦攻關(guān)終于突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)，打破了國外尖端技術(shù)的封鎖。

設(shè)備在線測試期間，由于調(diào)試時間緊，調(diào)試組的技術(shù)人員每天分三班進行不停機調(diào)試，反復(fù)進行各種測試。渴了，喝一杯涼水；累了，倒在換衣間和衣而睡。最后，現(xiàn)場調(diào)試記錄堆起來有兩三尺高，為設(shè)備提供了詳細的數(shù)據(jù)。

2、科研人員舍家干科研

“我們可以說是背井離鄉(xiāng)，很多人是砸了鐵飯碗來北京搞科研。”唐景庭說。42人的科研團隊剛從長沙來京時，條件極其艱苦，唐景庭率領(lǐng)科研隊員住在翠微路的招待所里，6個人擠一個房間，在租用的寫字樓中進行科研。但更難的是為了科研拋家離子，這群年輕人告別了依依不舍的妻子和戀人，有些人還告別了幼子和年邁的雙親。

離子源專家戴習(xí)毛得知父親病重后，因為忙于長壽命離子源的研制，沒能抽空回家看望父親。他原本想離子源研制成功后，讓父親分享成功的喜悅。可正當(dāng)離子源技術(shù)攻關(guān)處于最緊張的時刻，父親卻在老家病故了。噩耗傳來，平日個性剛硬的漢子泣不成聲。

市場開拓員工文超來京前在長沙找了個女朋友，兩人情投意合。女朋友研究生畢業(yè)后，希望他能放棄項目攻關(guān)回長沙成家、發(fā)展。因為對工作的眷念，他幾經(jīng)掂量后放棄了。轉(zhuǎn)眼兩年過去了，他現(xiàn)在還是孤身一人。

“不能再說下去了，不然說著說著又要流眼淚了。”面對記者，唐景庭直擺手。

2006年春節(jié)，團隊研制的100納米離子注入機進入了商用器件流片驗證階段，團隊決定留下部分技術(shù)人員駐守，聽到這個決定時，隊伍里沒有一個人提出要回家。由于駐守人員對設(shè)備的精心維護與熟練操作，2006年2月18日，所有片子的注入工藝全部順利完成。

3、科研體制首次創(chuàng)新

“以前的科研體制是：專家出題、做題、判題。如今我們是產(chǎn)業(yè)界出題、企業(yè)界組織專家做題，市場來判題，和以往完全不一樣。”市工業(yè)促進局電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展處處長梁勝說。

在此次項目中，政府監(jiān)督項目執(zhí)行進程成為最大的亮點之一。科技部與北京市政府合作進行重大項目實施，市工業(yè)促進局、市科委等部門集中政府資源為項目攻關(guān)提供支持，企業(yè)按照市場化原則組織社會科技資源，形成了“官產(chǎn)學(xué)研用”的合作機制。

政府不僅制定了攻關(guān)目標(biāo)，而且積極跟蹤，針對開發(fā)過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)進行協(xié)調(diào)服務(wù)。剛一立項，市工促局官員就帶領(lǐng)研發(fā)團隊的專家赴上海，與中芯國際主要負責(zé)人討論研發(fā)必須針對大生產(chǎn)線的應(yīng)用等實際問題，并推動建立了中芯國際大生產(chǎn)線上的工程師與團隊保持一周討論一次的合作機制。此后，在機器上線測試、采購等一系列關(guān)鍵環(huán)節(jié)上，市工促局都進行了積極協(xié)調(diào)。三年中，市工促局曾5次帶隊赴上海討論研發(fā)及上線問題。該項目的實施還首次引入了第三方進行項目監(jiān)制監(jiān)理，聘請中國新時代工程咨詢公司作為項目第三方，與攻關(guān)組同步工作，滲透至項目運行的各個環(huán)節(jié)，進行現(xiàn)場見證與監(jiān)督。

4、贏得國際平等對話

100納米離子注入機是芯片制造裝備的核心設(shè)備，然而，我國在離子注入機核心技術(shù)上始終技不如人，這種局面一直使得國內(nèi)從事離子注入機技術(shù)的科研人員抬不起頭來。中科院微電子研究所副所長葉甜春告訴記者，國外曾有人說過，“把圖紙給你們，看你們怎么做”，他們不相信中國有這樣的技術(shù)攻堅能力。“我一直記得一件很恥辱的事，一次我們在美國一家著名的同業(yè)公司參觀，別人不讓我們進入整裝生產(chǎn)線參觀，說‘你們看了，差距就要縮短十年。’”唐景庭告訴記者。由于國內(nèi)沒有高精尖的集成電路制造裝備，只能從國外高價購買，“后來我們?nèi)ヅ袆e那些買來的裝備，根本不值！很多都是國外淘汰的，有的買回來就是廢鐵。就這么賺走了我們的血汗錢啊！”

現(xiàn)在，這一尖端課題得到攻克，在國際談判時就有了平等的對話基礎(chǔ)，“這種時候，才是我們最興奮、心里最舒暢的時候！”唐景庭說。

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