一貫孱弱的中國半導體設備業忽然成了美國風投追逐的對象。《第一財經日報》昨日獲悉，國內目前唯一能為12英寸半導體工廠生產設備的公司——中微半導體公司（下稱“中微”）再獲美國多家風投公司3500萬美元（約合人民幣2.8億元）聯合注資。

美國華登國際、光速風險投資合伙人、紅點風投、中西部合伙人、灣區合伙人、全球催化劑合伙人、美國科天投資繼續扮演了投資角色。國際投行巨頭高盛則參與了投資。而在兩年前首輪融資中，上海市政府也曾作為投資方與風投一起共同注資3000多萬美元。

中國半導體設備企業確實正走向半導體產業鏈核心環節。就在一周前，國內最大設備制造商北方微電子正式與中芯國際簽訂了設備合同，這是國內設備首次進入全球三大半導體代工企業生產線。

而在國家半導體產業“十一五”規劃中，半導體設備業也是核心規劃項目。信產部副司長丁文武曾在2006年中國半導體年會上強調，未來5年，中國將力爭在6英寸線設備上完全自主，8英寸線光刻機等設備實現實用，12英寸線65納米光刻機等設備上有所突破。

盡管如此，國內半導體設備市場依然是國外企業的天下。美國應用材料、諾發等多家公司幾乎壟斷了這一領域，只留給本土企業非常低端、輔助的應用空間。SEMI（全球半導體設備與材料協會）9月底發布最新報告預測稱，未來三年，中國半導體工廠設備總投資將分別高達20.33億美元、20.53億美元、25.56億美元。而依據2004年的初步統計，中國本土設備只占不到1/50。

中微董事長兼CEO尹志堯對《第一財經日報》表示，這將直接加快公司最新生產設備成功導入市場。據透露，公司最新系列設備目前正加緊測試，已有兩家半導體公司初步簽訂了采購協議。

美國華登國際風險投資公司董事長Lip-BuTan表示，繼續投資中微的原因在于，亞洲正日益成為全球最大的半導體設備消化基地，而尹志堯等領導團隊也是他們考慮的重要原因。

中微一位市場人士說，與應用材料、諾發等全球設備巨頭在中國主要轉售二手設備，而中微則將高端設備研發、生產中心直接設立在亞洲，尤其中國，能直接依據客戶需求設計生產。

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